洁净室的整厂规划(Turn Key Projects)(如表3-1)，因涉及范围极广，需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划，尽管不少洁净室规划，多需要就于既有的建筑物，然而，为避免失误应尽可能事先确认下列事项： 

1. 洁净度等级。

2. 室压之平衡措施。

3. 温湿度要求。

4. 机器设备之必要性。

5. 确定生产流程。

6. 局部排气之必要性。

7. 日后扩充弹性。

8. 足够维护保养空间。

9. 空调送风方式。

10. 员工休息区之安排。

11. 设施与动力之配置。

12. 室内净高与楼板载重。

13. 设备空间与管道间。

14. 门窗宜少，气密性要佳。

15. 静电、振动及噪音。

16. 生产线与活动线少交叉。

17. 公害、污染与防灾。

18. 安装及运转成本之衡量。